电子级双氧水纯化的制备方法包括电解法、仲醇氧化法和烷基蒽醌法。蒽醌法是工业中生产过氧化氢的主要方法，其工艺为烷基蒽醌（例如2-乙基蒽醌）与有机溶剂配置成工作溶液。
在压力0.3MPa，温度55~65℃条件下和催化剂（例如靶）存在条件下通入H2，实现氢化还原后，后续经萃取、再生、精制和浓缩制得质量分数为20%~30%的过氧化氢水溶液。
目前行业内较为领先的蒸发-精馏法技术由日本三菱瓦斯化学公司开发，将工业双氧水在蒸发器中蒸发，气液混合物经气液分离器分离，蒸汽进入分凝器，部分蒸汽被冷凝下来成为净化产品。
离子交换是利用只用阳离子交换膜单项滤除金属离子，其中日本公司提出在工业过氧化氢水溶液中加入絮凝剂，然后利用细滤器过滤除去不溶性二氧化硅；美国公司提出将工业双氧水溶液流过2根混合离子交换柱和1根有机物吸附柱从而实现纯化。
中国相关公司通过负载螯合剂SBA-15分子筛过滤，通过超滤膜过滤从而实现纯化。同时也可以将膜过滤与活性炭吸附和多级精馏配合使用从而实现纯化。
溶剂萃取法是通过工业双氧水在两种互补相溶的溶剂中的溶解度和分配系数不同，经过反复多次萃取，从而得到纯度较高的双氧水，例如可以在重芳烃和磷酸三辛酯在30℃~50℃条件下缓和完成萃取；也可利用利用极性溶剂和非极性溶剂混合处理。
综上所述，电子级双氧水纯化处理过程涉及精密仪器的研发和相关工艺的探索，国内公司目前正在加速追赶，打破海外垄断。
